ノイズアナライザ

ノイズアナライザー
　　

概要:システムは、ノイズ測定、プロセス品質モニタ、回路シミュレーション用のフリッカーノイズパラメータの抽出に用いる。　NoiseProTMソフトウエアは、OFSET、バイポーラ接合トランジスタ、その他のデバイスのノイズモデリングを行う実力を備えています。
特徴; ウエハレベルでの低周波ノイズ特性評価システムを構築することができます。　ノイズの温度特性も簡単に評価できます。　BTA9812Aは、取りはずし可能なプリアンプユニットで、DUT近くや測定室内に設置することができます。　プリアンプユニットは、低周波ノイズまで測定できるように、バッテリーで駆動します。　BTA9812AとNoiseProTMを組み合わせることによって、ゲート酸化膜品質解析に用いることもできます

メーカー

celestry

設置場所

先端計測実験棟クリーンルーム内

担当者 藤田陽一

仕様;本体型式(BTA9812A) 、ソフト(NoiseProTM)

電流プリアンプ;(測定装置本体から分離可能),電圧プリアンプ;(測定装置本体から分離可能),D U Tインピーダンスマッチング,DUT タイプ,SMU ノイズフィルタ,バッテリー電源
システムノイズ解像度
 周波数応答: 0.5Hz - 1MH／ ノイズフロア: 0.5pA/√Hz @1KHz／ バッテリー駆動／
 周波数応答: 1Hz - 1MHz／ ノイズフロア: 1nV/√Hz@1KHz／ バッテリー駆動／
 出力: 100Ω - 1MΩ, プログラム可能／ 入力:0 - 100MΩ, プログラム可能／