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 | 光学顕微鏡及び撮影セット
 概要:電子デバイ スの観察、電子回路基板の表面配線状況の観察、ワイヤーボンディング配線の観察を行いその画像をモニター画面で見られ、画像をデジタルカメラで撮影･保存 し、後で観察することもできる。またX-Y軸のステージには、ロータリーエンコーダーがついているので、1μmでの読取りが可能である。 特徴:観察範囲は接眼レンズを変えることにより0.24mm角から10mm角までが可能で、このサイズ範囲内の測定物(電子デバイス)に適する。 | | メーカー オリンパス(OLYMPUS) 設置場所 先端計測実験棟クリーンルーム内 担当者 村上 武 仕様;本体型式(BH2-UMA)、X-Yステージ;MEASURING MICROSCOPE(STM-MJS)、X-Yカウンター(MMDC201)、 接眼レンズ(x1,x2.5,x5,x10,x20,x50 全てf=180) 
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