 | マニュアルプローバー
 概要:集積回路、 ダイオード、トランジスター、微小回路解析等の測定検査を行うもので、多数の触針を用いてデバイスの端子とテスター及び測定器とを結合して、電気的特性を 試験するための装置である。ウエハサイズ6インチまで可能で、６本のマニュピレータまで測定可能である。針材質B(ベリリウム銅)2.2φ 特徴:エ ア-ベアリングステ-ジの上にマイクロヘッドドライブのX/Yサブステ-ジがあるので微動設定が確実である。ステ-ジの固定は真空吸着方式で簡単である。 簡単なアライメント操作;アライン(位置合せ)はウエハーから約300μm針を離して行うので、顕微鏡の焦点を外さずにステ-ジが移動できます。ローディ ング/アンローディング時には3.5mm離すので安全操作可能である。 | | メーカー 日本マイクロニクス(MJC) 設置場所 先端計測実験棟クリーンルーム内 担当者 村上 武 仕様;本体(705B)、顕微鏡(SZ-1145-CHI-３)、マニュピレータ(204CL/CR)、シールドボックス(C-51A)、ワークステーション(116MD-W)とその他付属品(プローブカードアダプター、真空ポンプ)にて構成されている。 サイズ;W440ｘD580ｘH470 重量:50Kg
ステ-ジストローク;X180mm/Y220mm
マニュピレータX/Y/Zストローク;各10mm 
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